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- [发明专利]一种探测反射光变化的装置、方法及膜厚测量装置-CN202110240243.2有效
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王奇;李仲禹;王政
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上海精测半导体技术有限公司
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2021-03-04
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2022-10-18
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G01B11/06
- 本发明提出了一种探测反射光变化的装置及方法,利用第一光瞳分割器将入射光束进行场强分割使得入射光束在第一光瞳分割器的第一表面形成第一场强分布;准直汇聚具有第一场强分布的入射光束斜入射至物体表面以形成具有第二场强分布的反射光束;接收具有第二场强分布的反射光束并准直以形成具有第三场强分布的反射光束;利用第二光瞳分割器的位置和形状对具有第三场强分布的反射光束进行场强分割,使得具有第三场强分布的反射光束在第二光瞳分割器的第一表面形成第四场强分布,第一光瞳分割器和第二光瞳分割器具有相同的孔径函数分布;获取具有第四场强分布的反射光束,解析时间间隔内具有第四场强分布的反射光束变化信息,从而使得解析之后光强变化和成像位置偏差所形成的信号变化增强,提高探测器信噪比
- 一种探测反射光变化装置方法测量
- [发明专利]一种探测反射光变化的装置及方法-CN202110240241.3有效
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王奇;李仲禹;王政
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上海精测半导体技术有限公司
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2021-03-04
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2022-08-16
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G01B11/06
- 本发明提出了一种探测反射光变化的装置及方法,通过透射具有第一偏振态的入射光束,并进行场强分割形成第一场强分布,准直汇聚具有第一偏振态和第一场强分布的入射光束照射至物体表面以形成具有第一偏振态和第二场强分布的反射光束;接收视场范围内具有第一偏振态和第二场强分布的反射光束并准直以形成具有第一偏振态和第三场强分布的反射光束;将具有第一偏振态和第三场强分布的反射光束调整至第二偏振态后,进行场强分割以形成具有第二偏振态和第四场强分布的反射光束,解析时间间隔内具有第二偏振态和第四场强分布的反射光束变化信息,从而使得解析之后光强变化和成像位置偏差所形成的信号变化增强,提高探测器信噪比。
- 一种探测反射光变化装置方法
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