专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种探测反射光变化的装置、方法及膜厚测量装置-CN202110240243.2有效
  • 王奇;李仲禹;王政 - 上海精测半导体技术有限公司
  • 2021-03-04 - 2022-10-18 - G01B11/06
  • 本发明提出了一种探测反射光变化的装置及方法,利用第一光瞳分割器将入射光束进行场强分割使得入射光束在第一光瞳分割器的第一表面形成第一场强分布;准直汇聚具有第一场强分布的入射光束斜入射至物体表面以形成具有第二场强分布的反射光束;接收具有第二场强分布的反射光束并准直以形成具有第三场强分布的反射光束;利用第二光瞳分割器的位置和形状对具有第三场强分布的反射光束进行场强分割,使得具有第三场强分布的反射光束在第二光瞳分割器的第一表面形成第四场强分布,第一光瞳分割器和第二光瞳分割器具有相同的孔径函数分布;获取具有第四场强分布的反射光束,解析时间间隔内具有第四场强分布的反射光束变化信息,从而使得解析之后光强变化和成像位置偏差所形成的信号变化增强,提高探测器信噪比
  • 一种探测反射光变化装置方法测量
  • [发明专利]基于频谱路测数据实现场强分布预测处理的方法及相应的系统-CN201910649900.1有效
  • 张薇薇 - 上海创远仪器技术股份有限公司
  • 2019-07-18 - 2021-11-12 - H04B17/309
  • 本发明涉及一种基于频谱路测数据实现场强分布预测处理的方法,包括获取预测区域的频谱路测数据;对预测区域和频谱路测数据进行栅格化预处理;将预处理后的频谱数据视为样本点创建泰森多边形;根据自然邻点插值法计算各邻接样本点的权重,对未知场强值的栅格进行插值处理;根据待插值栅格各邻接样本点的权重和场强值计算出该栅格的场强预测值;根据色阶划分将整个区域的场强值转换为场强分布图。本发明还涉及一种基于频谱路测数据进行场强分布预测处理的系统。采用了本发明的基于频谱路测数据实现场强分布预测处理的方法及相应的系统,本发明能给出整个目标区域整体的场强分布情况,本发明的方案根据实测区域的场强值预测未测区域的场强值,从而节约人力和物力成本。
  • 基于频谱数据实现场强分布预测处理方法相应系统
  • [发明专利]一种探测反射光变化的装置及方法-CN202110240241.3有效
  • 王奇;李仲禹;王政 - 上海精测半导体技术有限公司
  • 2021-03-04 - 2022-08-16 - G01B11/06
  • 本发明提出了一种探测反射光变化的装置及方法,通过透射具有第一偏振态的入射光束,并进行场强分割形成第一场强分布,准直汇聚具有第一偏振态和第一场强分布的入射光束照射至物体表面以形成具有第一偏振态和第二场强分布的反射光束;接收视场范围内具有第一偏振态和第二场强分布的反射光束并准直以形成具有第一偏振态和第三场强分布的反射光束;将具有第一偏振态和第三场强分布的反射光束调整至第二偏振态后,进行场强分割以形成具有第二偏振态和第四场强分布的反射光束,解析时间间隔内具有第二偏振态和第四场强分布的反射光束变化信息,从而使得解析之后光强变化和成像位置偏差所形成的信号变化增强,提高探测器信噪比。
  • 一种探测反射光变化装置方法
  • [发明专利]探测反射光变化的装置、方法及膜厚测量装置-CN202110241306.6有效
  • 王奇;李仲禹;王政 - 上海精测半导体技术有限公司
  • 2021-03-04 - 2022-08-16 - G01B11/06
  • 本发明提出了一种探测反射光变化的装置、方法及膜厚测量装置,该装置包括至少一探测光源,用于产生入射光束;至少一光瞳分割系统,用于将入射光束场强进行分割使其在光瞳分割系统第一表面形成为第一场强分布;将具有第三场强分布反射光束使其在光瞳分割系统第二表面形成为第四场强分布;至少一光路准直系统,用于将入射光束聚焦至待测体表面形成为第二场强分布;接收反射光束于光瞳分割器的第一表面形成为第三场强分布。按照本发明的装置及方法,在入射光路上设置瞳面分割,进一步对入射光和反射光使用同一光路器件,通过调整入射探测光光束的场强分布或透镜组视场范围,同样可以调制目标出射探测光光斑的场强分布,提高探测器信噪比。
  • 探测反射光变化装置方法测量

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